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                          SDG001、SDG002型 高純水電導率儀

                           

                          SDG001、SDG002型 高純水電導率儀

                           

                          應用領域

                          SDG型系列高純水電導率儀,用于測量高純水電導率,其測量純水可以達到nS/cm級,測量精確、準確、穩定。

                          高純水主要應用于電子和微電子工業上,也用于食品、造紙、醫藥等行業。半導體器件由單電路到集成電路到超高集成電路,其用水的水質要求就越來越高。在半導體切片和研磨過程中,須用高純水進行清洗。

                           

                          品質

                          VIOLET®智創,更強、更好、更精彩!

                          最大允許誤差:

                                SDG001:±0.1%FS

                                SDG002:±0.2%FS

                              保障高精度測量;

                          測量電導率,可實時切換電阻率;

                          支持功能拓展、擴展;

                          自動溫度補償(可以選擇手動補償)。

                           

                          功能、特點

                          六鍵操作、光標引導;

                          支持N點標定(N=1~8),支持標定設為理論值;

                          VIOLET®智創,饜足一支電極全量程范圍應用;

                          測量響應靈敏,平衡后“精、準、快”即時顯現;

                          數據采集、存儲符合GLP規范。庫存數據可查詢、轉移、刪除(單組)、清零(全部),數據庫可無限保存采集數據(SD卡轉移輸出);

                          自動溫度補償(可以選擇手動補償);

                          顯示屏背光可調;

                          操作菜單可選中文、英文。

                           

                          技術參數

                          參數

                          技術指標

                          型號

                          SDG001

                          SDG002

                          儀器引用誤差級別

                          0.1級

                          0.2級

                          測量參數

                          電導率、電阻率、溫度

                          測量范圍

                          電導率

                          0.00nS/cm~50.00μS/cm

                          電阻率

                          20.00KΩ·cm~1.000GΩ·cm

                          溫度

                          (-5.0~105.0)℃

                          分辨率

                          電導率

                          0.01nS/cm、0.001μS/cm

                          電阻率

                          0.001(KΩ·cm、MΩ·cm)

                          溫度

                          0.1℃

                          最大允許

                          誤差

                          電導率

                          ±0.1%FS

                          ±0.2%FS

                          電阻率

                          ±0.2%FS

                          ±0.5%FS

                          溫度

                          ±0.2℃

                          重復性

                          ≤0.1%FS

                          0.2%FS

                          電源

                          電源適配器(輸入AC:220V,50/60Hz;輸出DC:12V,50mA)

                          尺寸;重量

                          165×205×60(mm);350(g)

                           

                          高純水電導率

                          一般稱電導率小于0.1μS/cm的純水為高純水。在工藝條件下制備的高純水,雜質近乎為零。高純水電導率(或電阻率)是水質要求關健指標。

                          高純水制備的典型工藝流程如下:源水→過濾→活性炭過濾器(或有機大孔樹脂吸附器)→反滲透器(或電滲析器)→陽離子交換柱→陰離子交換柱→ 混合離子交換柱→有機物吸附柱→紫外燈殺菌器→精密過濾器→高純水。

                          制定高純水標準主要依據:(1).微電子工藝對水質的要求;(2).制水工藝的發展水平;(3).水中雜質監測技術的現狀等。目前,在1 G(及以上)位超大規模集成電路制造中,對高純水的技術要求很嚴。

                          電極常數標定:用標準純水(已知電導率值)作為標定溶液,標定電極常數。標定前用高純水把電極清洗干凈,并用慮紙吸干水分,再用標定純水適量沖洗。

                          十分感謝高純水領域的工程師們在測量應用工藝方面的經驗、探索和創新。

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